鍍膜材料/零組件/幫浦油

鍍膜材料

CANON OPTRON
(日本佳能) 
MgF2 / SiO / SiO2 / S5F / Al2O3 / OM-4 / Ta2O5 / OS-50
Surfclear100 …等 
 高折射率蒸著材  TiO2 / Ti3O5 / ZrO2 / ZnS / Ta2O5 / Nb2O5 …等
 中折射率蒸著材  Al2O3 / MgO …等
 低折射率蒸著材  MgF2 / SiO2 …等
 混合型蒸著材  LB-3 / ITO / OM系 / OS系 / OH系 …等
 防水膜  AF.AS藥劑 / 超硬防水藥…等
 各式蒸著配件  BOAT(材質MO/TA/W) / 鎢絲 / 鋁圈 / 坩鍋…等

 

油品

LEYBONOL (萊寶) LVO-100 / LVO-130 / LVO-210
EDWARDS (愛德華) Ultragrade 20/40
MORESCO (日本原裝)  MR-100 / MR-200 / MR-200A / MR-250 / MR-250A
HIVAC (日本原裝) F-4 (Silicon擴散油)
DOW CORNING (道康寧) 矽利光真空油膏
LION (日本原裝) Lion-A / Lion-S

 

石英振盪片

MAXTEK 6MHz(金) / 5MHz(合金)
INFICON 6MHz(金) / 5MHz(合金)
LP 6MHz(金) / 5MHz(合金)
FIL-TECH QI-8010 / QI-8008

 

石英膜厚計

INFICON XTC/3S、XTC/3M、IC6、SQM-160

 

感測頭

JEOL (日本電子) 六點式感測頭 / 十二點式感測頭
INFICON 單點式感測頭 / 雙感測頭 …等

 

各式電源

MF 德國J.Schneider / 美國AE
RF 美國AE / 日本電子JEOL

 

離子源

VEECO End Hall ION Source / RF ION Source
KRI End Hall ION Source / RF ION Source
PPG RF ION Source

 

電子槍

PLASMATECH 6KW / 10KW / 15KW
JEOL 3KW/ 6KW/ 10KW / 16KW

 

冷凍機

POLYCOLD PFC-552 / PFC-672 / MAXCOOL 4000H
SHINMAYWA NEOCOLD RCT762
LP LP-150-050 / LP-150-075 / LP-150-100

 

真空幫浦

LEYBOLD(萊寶) SV系列 / WAU系列 …等
EDWARDS(愛德華) EH系列 / E2M175 / E2M275…等
OSAKA(大阪) P600 / P901 / TGkine系列…等
PFEIFFER(普發) WKP系列…等
SHINKO(神港) SMB系列 / SR系列…等

 

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