壹-Windows 視窗版鍍膜監控系統特色
1. 作業系統:WINDOWS 中/英文操作界面
2. 單一執行檔，含檔案資料建立、分析、監控、量測、提高操作之方便性
3. 資料輸入有防呆與指示功能，提高資料正確性
4. 具有已 TFCalc 分析軟體相同檔案格式，方便資料建立，亦可直接將 TFCalc 設計之膜厚
轉換至製程檔
5. 較彈性之硬體設定，方便除錯，硬體設定互換或關閉
6. 多視窗顯示功能，可獨立放大、縮小或關閉
7. 具有溢鍍量扣減分析功能
8. 分析後，監控波長選擇更具方便性
9. 可紀錄及鍍後顯示每一鍍膜層資料，包括廣波域光譜、監控波長光譜變化、物理膜厚、
蒸著速率、通氧流量、真空度變化、離子源相關變化量(Vd, Id…) ，方便檢知，
利於問題的判斷與解決
10. 監控過程更具彈性隨時可中斷、暫停、省略或放棄
11. 掃瞄式融藥功能
12. 監控中，參數變更即時生效，方便製程調整
13. 線上量測功能，可依狀況變換量測基準，進行量測
14. 自動補層功能，大大提高膜層中斷補救之成功率
15. 穩定的蒸著速率調整及石英壽命檢測、自動振盪片切換，可提高製程的良品率
16. 新增一些狀態檢測，如有不對，立即關閉遮板，停止電子鎗作動及發出警報，可大大降低
不良率的發生 |
